手機(jī)面板用藍(lán)寶石玻璃性質(zhì)與制備
湯華娟、王承遇
前言
1、藍(lán)寶石的結(jié)構(gòu)與性質(zhì)
2、大尺寸藍(lán)寶石的制備方法
(以上內(nèi)容請(qǐng)關(guān)注11月12日資訊)
2.1熱交換法
熱交換法是由美國(guó)Schmid1975年研發(fā)的,主要原理是利用熱交換器帶走熔體的熱量,同時(shí)控制熱交換器內(nèi)氦氣流量的大小并改變加熱功率的高低來(lái)控制熔體的溫度,使坩堝內(nèi)熔體由下慢慢向上凝固成藍(lán)寶石晶體。熱交換法的設(shè)備如圖7。
1—晶體爐;2—加熱元件;3—熱屏蔽部件;4—鉬坩堝;5—熔體;6—籽晶;7—熱交換器;8—可移動(dòng)的絕緣部件;9—支撐塊
圖7 熱交換法設(shè)備示意圖
在坩堝2底部中心處加入籽晶8,再裝入氧化鋁原料,坩堝放在熱交換器5的頂端,將晶體爐1密封并抽真空。用石墨加熱器3加熱到2050℃左右,使氧化鋁熔融,同時(shí)在熱交換器5中不斷通入氦氣,帶走籽晶附近一部分熱量,以免籽晶完全熔融。當(dāng)籽晶回熔到足夠數(shù)量時(shí),就加大氦氣流量,使其帶走更多籽晶熱量,從而使籽晶持續(xù)生長(zhǎng)成晶體。
熱交換器是熱交換法設(shè)備的重要部件,通常由兩個(gè)同心管組成。氦氣由熱交換器中心管流入,到達(dá)熱交換器頂端,即坩堝底部與熱交換器接觸部分,吸收坩堝底部的熱量,然后從熱交換器外管向下到底端流出。
在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,籽晶和坩堝均不移動(dòng),晶體生長(zhǎng)的驅(qū)動(dòng)力來(lái)自固液界面上溫度梯度。在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,熔體的溫度通過(guò)調(diào)節(jié)爐溫來(lái)控制,石墨加熱器的熱量通過(guò)熔體、晶體和熱交換器,最后由氦氣流帶出。
在熱交換法中,晶體和加熱區(qū)均未移動(dòng),可以減少熔體渦流和熱量對(duì)流以及固液界面濃度和溫度波動(dòng),使晶體均勻性和完整性都比較好。在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中能獨(dú)立控制晶體及熔體溫度,降低晶體的熱應(yīng)力,減少晶體開(kāi)裂與位錯(cuò)等缺陷,從而提高晶體強(qiáng)度,晶體生長(zhǎng)速度也較快。另外可根據(jù)晶體所需形狀,選擇正方形、柱狀、盤狀坩堝,生長(zhǎng)出與坩堝形狀相似的晶體,這些均為熱交換法的優(yōu)點(diǎn)。但是此法消耗的氦氣量大,如晶體生長(zhǎng)速度過(guò)大,易形成過(guò)冷結(jié)構(gòu),導(dǎo)致晶體中出現(xiàn)氣泡。如采用鉬坩堝,其膨脹系數(shù)與藍(lán)寶石晶體膨脹系數(shù)相差,坩堝邊緣處易產(chǎn)生應(yīng)力,導(dǎo)致生長(zhǎng)的藍(lán)寶石晶體外部易開(kāi)裂。美國(guó)Crystal Systems有限公司一直采用熱交換法生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體。
2.2泡生法
泡生法是由Kyropoulos1926年提出的晶體生長(zhǎng)法,后經(jīng)蘇聯(lián)Musalov改進(jìn)用于制備藍(lán)寶石晶體。2007年Demina采用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)改進(jìn)泡生法設(shè)備及工藝,用于生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體,美國(guó)也已用此法制備出200kg的藍(lán)寶石晶體。
泡生法是將籽晶用籽晶桿接觸到熔融的高純氧化鋁熔體表面,當(dāng)籽晶在熔體固液面上開(kāi)始生長(zhǎng)與籽晶結(jié)構(gòu)相同的單晶時(shí),籽晶桿以很慢速度向上提拉,提拉一段時(shí)間后形成晶頸,等熔體與籽晶界面凝固速度穩(wěn)定后,籽晶不再提升,也不再旋轉(zhuǎn),僅以控制冷卻速率方式來(lái)使單晶從上向下逐步凝固,最后凝固成一個(gè)單晶錠,然后再進(jìn)行退火和冷卻,其設(shè)備見(jiàn)圖8。通常用鎢坩堝,加熱體由鎢材料編成籠形狀結(jié)構(gòu),加熱時(shí)使溫度達(dá)到上低下高。籽晶通過(guò)鉬質(zhì)夾持器與耐熱不銹鋼水冷卻器相連接,形成熱交換器,以控制籽晶及附近溫度。
1—水冷籽晶桿;2—水冷電極;3—籽晶;4—坩堝蓋;5—晶體;6—熔體;7—保溫材料;8—發(fā)熱棒;9—坩堝支撐架
圖8 泡生法設(shè)備示意圖
泡生法特點(diǎn)是利用溫度控制晶體生長(zhǎng),雖然初期從引晶、縮頸到擴(kuò)肩階段存在提拉過(guò)程,但到了晶體等徑生長(zhǎng)階段,就可以依靠不斷降溫的結(jié)晶動(dòng)力使晶體生長(zhǎng),不再使用提拉技術(shù)。與傳統(tǒng)的提拉法對(duì)比,泡生法在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中,晶體不需要提出坩堝外,精確控制冷卻速度,減少熱應(yīng)力,避免坩堝污染,晶體生長(zhǎng)速度也較快。但在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中存在晶體的移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng),可能對(duì)質(zhì)量有影響。
2.3冷心放肩微量提拉法
冷心放肩微量提拉法是由韓杰才等2005年發(fā)明的大尺寸藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)方法,設(shè)備如圖9所示。
1—水冷棒;2—加熱裝置;3—籽晶夾持桿;4—頂部散熱器;5—坩堝;6—晶體;7—固液界面;8—熔體;9—支撐裝置;10—隔溫層
圖9 冷心放肩微量提拉法設(shè)備示意圖
冷心放肩微量提拉法生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體可分為引晶、放肩、等徑、退火和冷卻4個(gè)控制階段。首先將氧化鋁原料加入鎢坩堝5內(nèi),晶體爐密閉,抽真空以保持壓力不大于6×10-3Pa,利用鎢發(fā)熱體2加熱到2050℃使氧化鋁熔融,調(diào)節(jié)爐內(nèi)加熱體發(fā)熱量在100~2500W/h,使液面對(duì)流形態(tài)穩(wěn)定并緩慢調(diào)節(jié)籽晶夾持桿3,使其下端到熔體液面上5~20mm,熔體內(nèi)冷心位置與坩堝幾何中心相對(duì)偏差不大于20.00mm。用傳統(tǒng)提拉法
工藝,沿冷心偏離方向,經(jīng)5~15次引晶后,使結(jié)晶中心移到冷心,并進(jìn)行旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為2~16r/min。然后冷心放肩控制提拉速度0.3~6mm/h,調(diào)節(jié)功率下降速度0.1~25.5W/h,使單晶體外側(cè)靠近坩堝壁,但不接觸;再以0.5~6.8mm/h速度進(jìn)行等徑提拉,等到單晶重量均勻增加后,將提升速度增加到20~170g/h,待晶體重量不再增加時(shí),就完成了晶體生長(zhǎng)過(guò)程,再進(jìn)行退火和冷卻。當(dāng)爐內(nèi)溫度降到1700℃后,將爐內(nèi)功率下降速度調(diào)至10~18W/h,使溫度緩慢下降,對(duì)單晶作退火處理。當(dāng)爐內(nèi)溫度降到500℃,將降溫速度調(diào)為30~60W/h,直至溫度降至100℃,完成冷卻過(guò)程。
冷心放肩法特色在于冷心位置處與坩堝幾何中心相對(duì)偏差不大于20mm放肩,使結(jié)晶過(guò)程中藍(lán)寶石單晶的晶向遺傳特性良好,保證高質(zhì)量單晶生長(zhǎng)。通過(guò)高精度能量控制配合微量提拉,在結(jié)晶過(guò)程中沒(méi)有明顯的溫度擾動(dòng),降低了缺陷產(chǎn)生幾率。晶體直徑可以一直長(zhǎng)到距坩堝壁1~3cm位置而不與坩堝壁接觸,能制備出大尺寸晶體,材料綜合利用率可達(dá)泡生法的1.2倍以上。在整個(gè)制備過(guò)程中晶體不被提拉出坩堝,晶體內(nèi)溫差小,可減少熱應(yīng)力,選用水作為冷卻介質(zhì)降低成本,晶體可實(shí)現(xiàn)原位退火。
3、展望
采用藍(lán)寶石代替玻璃制作手機(jī)面板,增加了其耐磨性、光澤、熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,可適應(yīng)于極端惡劣環(huán)境條件,提高手機(jī)面板使用壽命,但藍(lán)寶石較玻璃制備工藝復(fù)雜,成本高。隨著藍(lán)寶石制備方法的改進(jìn),規(guī)模擴(kuò)大,生產(chǎn)效率提高,價(jià)格有可能進(jìn)一步下降。
美國(guó)專利及商標(biāo)局(USPTO)曾報(bào)導(dǎo)了蘋果公司將一層藍(lán)寶石與另一層藍(lán)寶石層壓或一層藍(lán)寶石與一層玻璃層壓,制成疊層材料。由于藍(lán)寶石很硬,研磨和拋光困難,采用疊層方案,只需將外層藍(lán)寶石拋光,而內(nèi)層藍(lán)寶石可降低表面光潔度要求。通常每層藍(lán)寶石厚0.5mm,疊層后厚1mm。國(guó)內(nèi)袁軍等也將一層藍(lán)寶石與一層玻璃用光學(xué)透明膠粘合為疊層材料,用以制備電容式觸摸屏,并申請(qǐng)了實(shí)用新型專利。此種疊層材料即充分發(fā)揮藍(lán)寶石的優(yōu)良性質(zhì),又減少藍(lán)寶石用量,可以大幅度降低成本。