激光管的結(jié)構(gòu)組成
激光管主要由硬質(zhì)玻璃、諧振腔、電極三部分組成。
1．硬質(zhì)玻璃部分；本部件由GG17料燒制成放電管、水冷套、儲(chǔ)氣套和回氣管而組成。封離式CO2激光器通常為三層套管結(jié)構(gòu)。最里面的是放電管，中間是水凈套，最外一層是儲(chǔ)氣套，回氣管是用于連通放電管和儲(chǔ)氣管。
2．諧振腔部分：本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學(xué)玻璃為基底，表面渡金膜，金膜反射鏡在10.6um附近的反射率達(dá)98%以上；諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射10.6um輻射的紅外線材料鍺(Ge)為基底,在上面渡上多層介質(zhì)膜而制成。
3．電極部分：CO2激光器一般采用冷陰極，形狀為圓筒形，陰極材料選用對(duì)激光器的壽命有很大的影響，對(duì)陰極材料的基本要求是：濺射率低，氣體吸收率小。
